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第230章 鸡蛋清引发的良品率问题（第2页）

【叮！】

【系统分析开始···】

【光刻机型号：gk-1】

【分析结果如下：】

【1.光源系统正常。

2.对准与调焦系统正常。

3.双工件台系统正常

4.掩模输运与定位系统正常···】

系统分析完毕，光刻机一切正常。

周博叹了一口气，心中也犯了难，问题出在什么地方呢？

系统也不是万能的，现在要靠自己定位问题了。

“大家有什么看法！”周博先询问众人的意见。

姜明尚道：“每次都出现图案粘连，我还是怀疑光刻胶有问题。

但是又查不出来！”

周博点点头。

现在他们所用的光刻胶，是从鸡蛋清里提取出来的，调配过程是周博经过多次实验确定下来的。

一年多来，在电子厂车间产线上使用，从来没出过问题。

之所以用鸡蛋清，多少有点无奈，光刻胶这东西虽然不起眼，但技术含量可不低。

要从零开始批量制造，也是相当麻烦，所以周博才用了妥协的鸡蛋清方案。

想了想，周博一时也难以确定问题所在，只好道：“把流程重新走一遍吧！”

“好！”

随即，众人取出一块晶圆片放入光刻机中，启动光刻工序。

光刻机内，汞灯光源射出紫外光，透过自制透镜组，再透过掩膜版，将电路图案投射到涂有鸡蛋清光刻胶的晶圆上。

在硅片表面刻画出比头丝还要细千百倍的电路图案。

周博出神地注视着光刻机，思维跟着工序流程快思考。

是振动问题？

空气洁净度不够？

热胀冷缩？

脑海中不时蹦出一个个想法，但又随即否定···

半个小时后，光刻工序完成，几块芯片新鲜出炉。

随即拿到显微镜下一看，还是图案粘连！

姜明尚苦笑：“真是活见鬼了！”

此时，周博拿着一块芯片左右端详，眼神渐渐明亮起来。

“姜工，我觉得你的猜测是对的，应该还是光刻胶的问题！”

周博语气笃定地说道。

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